معدل التوطين الوطني 90%، وإنتاج الأشعة فوق البنفسجية المتطرفة 15 واط وما فوق
يُتوقع أن تستغرق التجاريةُ 3 إلى 5 سنوات إضافية
كشفت الصين عن نموذج أولي لنظام مصدر الضوء، وهو أحد المكونات الأساسية لمعدات التصوير الحجمي للأشعة فوق البنفسجية المتطرفة (EUV) اللازمة لإنتاج أشباه الموصلات المتقدمة.
أعلنت شركة لانغداو سويان (朗道燧岩)، المتخصصة في تطوير مصادر الضوء لأشباه الموصلات، عن كشفها الأول لنموذج أولي من نظام مصدر الأشعة فوق البنفسجية المتطرفة في الدورة السادسة والعشرين من معرض الصين الدولي للصناعة، الذي يقام في شنغهاي منذ الثاني عشر من الشهر الحالي، وفقاً لما نقلته وكالة الأنباء الصينية الرسمية جازيتا التحرير (解放日报) في الخامس عشر من الشهر الحالي. وأوضح المسؤولون في موقع المعرض أن معدل التوطين الوطني لهذا النظام يبلغ 90%، وأن معظم المكونات الأساسية تم تطويرها ذاتياً.
يعتبر مصدر الأشعة فوق البنفسجية المتطرفة تقنية أساسية ضرورية لتصنيع أشباه الموصلات المتقدمة من فئة 7 نانومتر وما دون. تعمل هذه التقنية بطريقة تسليط شعاع ليزر عالي الطاقة على قطرات من القصدير لإنتاج بلازما، واستخدام الأشعة فوق البنفسجية المتطرفة ذات الطول الموجي 13.5 نانومتر الناشئة عن هذه العملية. يشكل مصدر الضوء العنصر الأساسي في معدات التصوير الحجمي للأشعة فوق البنفسجية المتطرفة، إلى جانب نظام المرآة الضوئية الانعكاسية الدقيقة لتجميع الضوء والقناع والويفر وأنظمة النقل والمحاذاة.
يعتمد نظام مصدر الضوء من شركة لانغداو سويان على تقنية البلازما المُنتجة بالليزر (LPP)، وهي نفس التقنية المستخدمة من قبل شركة إيه إس إم إل (ASML) الهولندية في معدات التصوير الحجمي التجارية. يبلغ إنتاج نظام مصدر الضوء منخفض الإنتاجية "فلينت نانو إل بي بي - أو إكس إكس أو" (FlintNano LPP-OXXO) الذي أعلنت عنه الشركة 15 واط فما فوق، مع وقت تشغيل مستمر يتجاوز 100 ساعة. وفي المقابل، تتطلب معدات التصوير الحجمي التجارية من شركة إيه إس إم إل بشكل عام مصادر ضوء بإنتاجية من رتبة مئات الواتات. ويتعين رفع الإنتاجية والاستقرار طويل الأمد ومعدل التشغيل من أجل تطبيقها في المجالات الصناعية.
أشار المسؤولون في موقع المعرض إلى أن "نظام مصدر الضوء هذا سيحتاج إلى 3 إلى 5 سنوات إضافية للوصول إلى مرحلة الإنتاج الكمي". تُقيِّم الأوساط المتخصصة هذا الكشف على أنه ذو أهمية كبيرة، حيث يمثل تقدماً للصين من مرحلة البحث النظري إلى مرحلة التحقق من النموذج الأولي في مجال تقنية مصدر الأشعة فوق البنفسجية المتطرفة.
من جانبها، تأسست شركة لانغداو سويان في عام 2024، وهي نتاج تطوير فريق بحثي بقيادة الدكتور وانغ هاو (王豪) بناءً على نتائج أبحاث البلازما ذات التفريغ الكهربائي من جامعة تسينغهوا. حصلت الشركة على استثمارات من شركات استثمارية تابعة لمنطقة تشانغجيانغ للتطوير التكنولوجي (張江高科) وشركة تشونغشين جويوان (中芯聚源).
* تمت ترجمة هذا المقال تلقائيًا بواسطة الذكاء الاصطناعي.